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電容式接近開關這種開關的測量通常是構成電容器的一個極板，而另一個極板是開關的外殼。這個外殼在測量過程中通常是接地或與設備的機殼相連接。

當有物體移向接近開關時，不論它是否為導體，由于它的接近，總要使電容的介電常數發生變化，從而使電容量發生變化，使得和測量頭相連的電路狀態也隨之發生變化，由此便可控制開關的接通或斷開。這種接近開關檢測的對象，不限于導體，可以絕緣的液體或粉狀物等。

電容式傳感器的感應面同兩個同心布置的金屬電極組成，這兩個電極相當于一個非線繞電容器的電極。電極的表面a和b連接到一個高頻振蕩器的反饋支路中，對該振蕩器的調節要使得它在表面自由時不發生振蕩。

當物體接近傳感器的有效表面時，它就進入了電極表面前面的電場，并引起耦合電容發生改變。振蕩器開始發生振蕩，振蕩幅度由一個評價電路記錄下來并被轉換為一個開關命令。